高精度轴向驱动的特种园环状压电驱动器--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

高精度轴向驱动的特种园环状压电驱动器

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

98224169.0

申请日期:

1998-6-1

第一发明人:

陈大任

其他发明人:

专利授权日期: