一种高通量制备SiBCN用沉积装置及高通量制备SiBCN的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种高通量制备SiBCN用沉积装置及高通量制备SiBCN的方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202110323660.3

申请日期:

2021/3/26

第一发明人:

廖春景

其他发明人:

董绍明，靳喜海，倪德伟，章龙龙，林玲，顾炎

专利授权日期:

20220510