一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201910407879.4

申请日期:

2019/5/15

第一发明人:

陈奕睿

其他发明人:

潘秀红，郭琳倩，李青，张国霞，汪正，邓伟杰，陈锟，艾飞

专利授权日期:

20220405