一种原子力显微镜用热波跳变控制激励的原位表征纳米尺度热导率的装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种原子力显微镜用热波跳变控制激励的原位表征纳米尺度热导率的装置

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202010476364.2

申请日期:

2020/5/29

第一发明人:

徐琨淇

其他发明人:

曾华荣，赵坤宇，李国荣

专利授权日期:

20220208