一种表面晶粒定向生长的氮化硅陶瓷及其制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种表面晶粒定向生长的氮化硅陶瓷及其制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201910809154.8

申请日期:

2019/8/29

第一发明人:

张景贤

其他发明人:

段于森，刘宁

专利授权日期:

20220513