一种金刚石线切割机辅助观察系统--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种金刚石线切割机辅助观察系统

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

202121096143.9

申请日期:

2021/5/21

第一发明人:

方婧红

其他发明人:

倪津崎，贺欢，李勤，汪超越，石云，余建定

专利授权日期:

20220104