1.可测元素范围：⁶C-⁹²U的元素。常规分析一般只包括原子序数≥11（Na）的元素，其他元素只在特定情况下才能测定（如钢铁中的C等） 

2.检测浓度范围：大部分元素0.000x%--100% 

3.探测器：闪烁计数器（最大计数率1000kcps），流气正比计数器（最大计数率2000kcps），封闭式正比计数器（Xe）（最大计数率1000kcps） 

4.高压发生器：最大功率4kW，稳定度0.0005%（外电源波动为1%时），外电源允许波动范围±10% 

5. X光管：超锐端窗Rh靶，最大功率4kW（60kV，125mA） 

6.测角仪：2θ角准确度0.0025°；2θ角重复性0.0001°，扫描速度2θ0.0001--2°/s可调 

1.分析元素范围：能分析Be~U的所有元素

2.X射线光管最大功率：≥4 kW

3.真空度：≤3Pa

4.探测器最大计数率：线性流气式≥3000kcps，闪烁式≥1500kcps

5.具备微区分析功能，最小步长0.1mm

6.配备无标样定量分析软件、薄膜/多层膜厚度和组成同时分析软件

7.膜厚分析范围：1nm~1mm，分析精度：1nm

8.光谱室温度控制在±0.05℃，晶体独立温度控制±0.05℃

1.可测元素范围：Al~U（靶元素和与靶元素干扰严重的元素除外）

2.检测浓度范围：10^-9~100% 

3.检出限：Ni≤2pg 

4.激发源：最大功率≥30W；最大激发电压≥50kV，最大激发电流≥1mA 

5.最大计数率≥100kcps 

6.测量强度的重复性：RSD≤1%