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辉光放电质谱 Glow Discharge Mass Spectrumeter Analysis

  

VG9000辉光放电质谱仪是由中国科学院、科技部与上海市科委共同出资购置的大型分析仪器,已于2001年7月安装调试完毕,并开始承接各项测试任务和技术服务。

该仪器为英国Thermo Elemental公司的最新产品,价值70万美元,也是中国大陆第二台、华东华北地区仅有的一台高分辨辉光放电质谱仪。

辉光放电质谱法作为一种固体样品的直接分析方法,被认为是目前为止唯一的同时具有最广泛的分析元素范围和足够灵敏度的元素分析方法,已成为固体材料多元素分析尤其是高纯材料分析的强有力的工具。直接对固体进行分析避免了将固体转化成溶液时因在溶解、稀释等过程中造成的玷污和灵敏度降低,而且该方法对样品的分析面积大,所得数据结果有好的代表性。

仪器主要性能指标:

该仪器配置辉光放电离子源,高分辨双聚焦磁质谱和高灵敏度的探测系统。有其独特的分析特点和广泛的应用范围。  

  可测元素范围

  元素周期表中除氢(H)外的所有元素,包括常用分析方法难以测定的C,N,O,P,S等轻元素

  检测浓度范围

  超低检测限,大多数元素的检测限为0.1~0.001μg·G-1

  分析速度

  快速,一次可给出多量、少量、痕量以及超痕量多元素分析结果

  精密度

  

优势分析应用领域 

 金属及合金材料

包括高纯金属,溅射靶材,稀贵金属,超级合金等材料的痕量杂质的半定量和定量分析,同时可分析C、N、O等轻元素。 

 半导体材料

包括硅片,CdTe,GaAs及其他多种高纯电子材料的杂质分析。 

 无机非金属材料

包括陶瓷粉末,玻璃,稀土氧化物等材料分析。 

薄层分析,深度分布剖面分析等

射频源辉光放电质谱

英国质谱公司(MSI) Autoconcept GD 90型射频源辉光放电质谱(rf-GD-MS)购置于2015年。该设备的特点:固体样品直接分析;最低检出限:优于100ppt;分辨率:优于4000;配有射频源(rf),可实现非导体样品(晶体、陶瓷等)直接分析;同时,depth-profile功能可对杂质元素进行深度剖析(溅射速率<1μm/min)。

联系方式:

联系人:钱荣、董疆丽

地址:上海市定西路1295号3号楼101室

电话:021-52413101,52413508

邮件:qianrong@mail.sic.ac.cn

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